Учебное пособие 717
.pdfмежду собой. Оценить степень зависимости от разрядного тока постоянного напряжения смещения, концентрации электронов, вкладываемой мощности.
Составить отчет по работе.
4.Контрольные вопросы
1.Опишите применение плазмы в технологических установ-
ках.
2.В чем заключаются условия возникновения и самоподдержания газового разряда?
3.Дайте характеристику основных элементарных процессов в
плазме.
4.Что включает в себя понятие квазинейтральности плазмы?
5.Почему любое помещенное в плазму тело приобретает относительно неё отрицательный потенциал? Как он называется?
6.Что такое напряжение самосмещения и каковы причины его возникновения?
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1.Голант В.Б. Основы физики плазмы/ В.Б. Голант, А.П. Жилинский, И.Е. Сахаров. — СПб.: Лань, 2011. 448 с.
2.Липатов Г.И. Вакуумная и плазменная электроника/ Г.И. Липатов. — Воронеж: ВГТУ, 2003. 214 с.
3.Сушков А.Д. Вакуумная электроника: Физико-технические основы/ А.Д. Сушков. — СПб.: Лань, 2004. 464 с.
СОДЕРЖАНИЕ
Лабораторная работа №1. Изучение явления термоэлектронной эмиссии ……………………………………………………… 1 Лабораторная работа №2. Исследование распределения фотоэлектронов по энергиям …………………………………………….. 12 Лабораторная работа №3. Исследование газоразрядной плазмы ……………………………………………………………………….. 16 Лабораторная работа №4. Изучение высокочастотного емкостного разряда низкого давления …………………………………. 30 БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ……………………………….. 49
49
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Вакуумная и плазменная электроника»
для студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Электронное машиностроение») очной формы обучения
Составитель Липатов Геннадий Иванович
Компьютерный набор Г.И. Липатова
Подписано к изданию 20.03.2018
Уч.-изд. л. 2,9
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп., 14
50